清华，浙大mems团队都不错。和天津大学的MRMS队。国内MEMs方向最好的大学有清华、北大等等。清华大学MEMS卫星是以MEMS为核心，功能密度高、研制周期短、应用灵活的纳米卫星。该项目提出了高可靠的集中式最小系统和高性能的灵活扩展系统架构，确保了在轨工作的高效性和任务的高性能性。发明了一系列基于MEMS技术的卫星功能部件，显著提高了纳米卫星的功能密度比；发明了高精度星敏感器和空间多目标综合传感测量方法。以星域为参照，在轨统一了遥感相机、探测载荷等测量基准。
北大MEMs在中国微电子产业发展中有着辉煌的历史。20世纪70年代，我国研制出包括硅栅N沟道在内的前三种1KMOSDRAM，是我国微电子技术史上的重要里程碑之一，并获得国家科学大会奖。它是中国最早的大规模集成电路发源地之一。更多关于MEMs的信息，可以去社科系赛斯深入了解。
5、 mems传感器是什么意思MEMS传感器，即MEMS，是在微电子技术基础上发展起来的多学科前沿研究领域。与传统传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适合批量生产、易于集成和智能化实现等特点。同时，微米级的特征尺寸使得传统机械传感器无法完成的一些功能成为可能。扩展信息:1。MEMS气体流量传感器:精度高，检测流量范围宽，适用于各种需求的流量计测量。
3.MEMS非接触式温度传感器:一种高灵敏度的人体感应传感器，也可以检测静止的人体。4.MEMS开关:高频、小型、长寿命的MEMS开关。我国在MEMS传感器领域的研究起步较晚，但已经成为一支不可或缺的力量。在我国部分专利创新主体协同格局的前提下，加大政府科技投入不仅可以消除技术创新发展中的资金阻滞，还有助于引导企业或单位的技术创新意识，从而提高我国创新驱动效率，促进经济快速平稳发展。
6、国内哪些大学有 mems这个专业?我是哈工大机电学院的，mems我属于微机械制造领域，是我们学院的。大一专业认知课上讲过。但是，mems传感器的电路部分我们不负责，属于微电子。其实mems涉及的专业很多，主要是机械设计制造和电子封装技术。我现在想辅修电子封装技术..最近一直在折腾飞思卡尔的加速度计，所以有所了解。mems前景是好的，但是你至少要拿到硕士学位才能真正学习。
MEMS主要被认为是微电子技术和机械的交叉学科。大部分985院校都会在一定程度上学习MEMS，大多数学校对MEMS人才的培养和研究主要在机械、精密仪器、微电子等相关专业的研究生阶段。微电子和电子所在的MEMS领域，很多高校也有很大成就，MEMS是一门交叉学科。如果细分的话，类别很多，包括各种传感器、执行器、片上生物芯片、RFMEMS等，，而且各个学派的研究也各有侧重。
